丝袜脚 怀念，ASML的伟大发明家逝世
发布日期：2024-10-27 18:03 点击次数：159
（原标题：怀念丝袜脚，ASML的伟大发明家逝世）
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跟着埃里克·卢普斯特拉的逝世，ASML 和蔡司失去了一位伟大的系统架构师和发明家。这位来自弗里斯兰的工程师领有 280 多项专利。“通盘抨击的 ASML 家具都带有埃里克的钤记。”
多年来，Erik Loopstra 一直是 ASML 在费尔德霍芬工程部门的推能源之一。很多（前）同事都以为他是这家光刻公司机器开发的鼓吹者，直到 2018 年他与蔡司公司联结，鼓吹了那里的机电一体化智商。本年早些时候退休的 Martin van den Brink 时常与客户磋议，流畅市集和本领，而 Loopstra 则是公司里面的鼓吹者之一。
通盘这个词高技术行业都知说念 Loopstra 的名声，但对于外界来说，他耐久以来一直保持着隐形。这特等符合他。“他与本领各人相处得很融洽，”频年来在蔡司与 Loopstra 关系密切的 Wilbert Kohler 说说念。“正常，与他同级别的东说念主不再有这种关系，因为他们在‘登堂入室’太久后，在某个时候失去了磋议。”据 Kohler 称，Loopstra 等于一个典型的例子，他诚然持续提高，但仍然特等夷易近东说念主，这有助于找到好的处理决策。“因为归根结底，一切都取决于团队联结。”
当他被推到聚光灯下时，卢普斯特拉会感到彰着不服缓。比如在 2018 年欧洲发明家奖公共奖提名的宣传之旅中，他初度引起了公众的细心。他舒适地隐忍着这些时刻。“咱们开打趣说，超模的生计比工程师的生计勤勉得多，”与他一齐获奖的瓦迪姆·巴尼内说。“咱们没极度志到拍几张好相片和录制一段视频要花些许时期。”通过与伴侣一齐进行的宣传之旅，巴尼内说，他还从另一面了解了卢普斯特拉，“一个怜惜的丈夫”。
严肃隆重
“埃里克是一位特出的系统工程师，为 ASML 的很多要道本领作念出了开阔孝敬，”ASML 的一份新闻稿写说念，该公司很少文告职工退休或逝世的讯息。本领行使 Jos Benschop 暗示：“很少有东说念主像埃里克一样为 ASML 的得胜作念出了如斯大的孝敬。他的意思心、劲头以及将细察力改造为本色突破的智商使他成为咱们有史以来最优秀的机器制造商之一。他是咱们很多东说念主的灵感来源，咱们将特等想念他。”
和 Van den Brink 一样，Loopstra 亦然 ASML 求实开发文化的代表。他的办公桌上放着一棵 Efteling 游乐土的童话树的微缩模子。每当技俩充满瞎想和但愿，或者商议中东说念主们无法充分说明我方的不雅点时，他就会指着它。“Erik 老是能特等详确地指出这极少，”一位吸收采访的东说念主说。“如若你对某件事不笃定，或者无法很好地说明它，他就会特等寻衅。”
很多东说念主提到他曾说过的名言，举例“匡助只好在有效时才是匡助”和“东说念主多力量大”。他的“今天能让别东说念主作念的事情，不要拖到翌日”有点像 ASML 的格言。
“Erik 是一位才华横溢的本领东说念主员，领有极强的细察力和创造力，”Hans Sluiters 说说念。四肢工程公司 CCM 的别称职工，Sluiters 在 20 世纪 90 年代理会了 Loopstra。“除了 Van den Brink，他是唯独一个了解通盘机器模块卓绝接口的东说念主。他特等专注，从不健忘缱绻，那等于机器必须以大约正常的阵势尽快送到客户手中。”对于 Loopstra 的挑战阵势：“怕死鬼和骄矜心受挫的东说念主说他效法了 Brink 的立场，但在我看来，事实并非如斯；他直肠直肚，令东说念主生畏，但完全真实。”
正常的本领员
Erik Loopstra 降生于一个弗里斯兰家庭，在北荷兰省的一个小村落长大。20 世纪 80 年代初，他毕业于代尔夫特 Dedde de Jong 教化的精熟机械工程专科。随后，他先后在多德雷赫特和海尔伦的飞利浦公司职责，负责 LCD 显示器历练工场的分娩开荒。在 Centurion 重组时期，Jan Timmer 堵截了这条历练分娩线，Loopstra 于 1991 年转入 ASML，成为别称开荒工程师。
在 ASML，Loopstra 很快成长为别称本领全面的本领东说念主员，他不仅忽闪收尾工程，还忽闪光学。“他的学习智商令东说念主惊叹，”与他一齐在 EUV 光刻范畴职责多年的 Vadim Banine 回忆说念。“Erik 不是物理学家。开首，他在物理问题中使用了完全造作的单元，但两周后，他用我方学到的学问让一位专科物理学家取代了他。”
马丁·范登布林克对 Loopstra 的视力印象深入。“举例，令我诧异的是，他确切地知说念自行车踏板的螺纹是什么以及为什么。”范登布林克向多达 30 名机械工程师问过不异的问题。“也问过最灵巧的东说念主。埃里克是唯独一个能告诉我的东说念主。”
系统念念想家
Loopstra 的学习智商令其他同事歌咏不已。他所作念的每件事他都想一探究竟。这种特色，加上他的表面和执行资质，使他成长为别称向上的系统架构师。“Erik 特等有力头，擅长缔造细腻的系统架构，”同事 Hans Vermeulen 说。他受雇于飞利浦制造本领中心 (CFT)，在 EUV 早期与 Loopstra 联结遐想了第一个 EUV alpha 演示器具的架构。“领先，他的职责有些松驰，但也特等抉剔，防备细节。”
兼职教化 Vermeulen 在 2016 年的接事演讲中称 Loopstra 是他的榜样之一。“对他来说，莫得什么挑战是无法克服的。他的念念考和相通速率、正常的系统学问、敏捷的放大和减弱智商以及创造力使他成为我的榜样，激励着我。”
Jan van Eijk 在代尔夫特 De Jong 的团队担任学生导师时理会了年青的 Loopstra丝袜脚，他也主要将他视为系统念念想家。“Erik 浓烈宝石系统循序。他正常参与工程和科学的各个方面。迟缓地，他设法让我方身边围绕着一些知说念如安在不同范畴作念出正确解释的要道工程师。”
在 ASML 职责的早期，Loopstra 是 PAS 5500 团队的一员，他匡助将全新的模块化机器遐想参加分娩。凭借 PAS 5500，这家总部位于 Veldhoven 的公司在 1993 年真实登上了半导体行业疆土。尔后，Loopstra 参与了险些通盘抨击的机器开发，包括 20 世纪 90 年代后半期 PAS 5500 向步进扫描系统的演变、千禧年后推出的带有两个晶圆台的 Twinscan、随后升级为浸没式以及引入 EUV。Banine说：“通盘主要的 ASML 家具都带有 Erik 的钤记。”
2018 年的 Erik Loopstra。这组相片来利己欧洲发明家奖公共奖提名而创作的宣传材料，他最终与 Vadim Banine 一齐获取了该奖项
九死无悔
20 世纪 90 年代末，飞利浦 CFT 仍在为 ASML 进行初步开发。除其他事项外，该公司还研究了 PAS 5500 的步进扫描道理。Loopstra 参与了 ASML 的这些技俩。他缓缓发达了诱导作用，并与 Jan van Eijk 和 Ton Peijnenburg 密切联结。“一语气几个月，咱们每周都会与 Martin 和 Erik 商议规格，”Van Eijk 回忆说念。
四肢一个诠释性的例子，Van Eijk 提到了对于光罩台（用于迁移与扫描晶圆台相对的重型掩模）最大加快度的商议。“在第一台扫描仪中，咱们竣事了 30 m/s2。对于 Twinscan，咱们 CFT 想要达到 50 m/s2，但 Erik 称这是怕死鬼的规格。那是怕死鬼的玩意儿。他想达到 80 m/s2。临了，第一代的速率仍为 50 m/s2，但 Erik 九死无悔，当今，咱们筹商的是 200 m/s2。”
借助 Twinscan，Loopstra 为均衡质料系统和长行程与短行程平台的激光过问仪的开发作念出了孝敬。对于 EUV alpha 演示器具，平面电机和真空本领是主要挑战。对于High NA，则是极快的平台和大型扫描光学系统。此外，对于High NA，必须缔造特等正常的计量系统来测量皮米级的多层镜。四肢开发诱导者之一，Loopstra 匡助塑造了它。“我戮力于异日，”他在 2009 年吸收荷兰报纸《埃因霍温日报》采访时说说念，“研究当今尚不存在但几年后可能会出现的机器。”
完全奉献
四肢一个天生具有突破界限的能源的东说念主，Loopstra 主要在新系统的观点阶段被使用。“四肢一个有创造力的东说念主，他在开发的后期就没那么有效了，”Van Eijk 说。“在阿谁时候，他想出更好替代决策的倾向妨碍了竣事所选的处理决策。”
Loopstra 最受尊敬的是他在 EUV 方面的始创性职责。为此，他和 Vadim Banine 于 2018 年获取了欧洲发明家奖的公共奖。Banine 驳倒说：“Erik 全身心肠参加到家具开发中。莫得什么是无法处理的。他克服了通盘勤勉。这是创始性、开阔能源、高度专注和用心参加的纠合。”
转头往时，Van Eijk 将 Twinscan 的开发视为 Loopstra 最抨击的孝敬。“对于 Twinscan，他致力于鼓吹竣事具有 3D 均衡质料的晶圆台，”他理会说念。“这在开发的第一阶段是过度的，因为波及的加快度相对较低。2D 处理决策更浅薄、更低廉。”但据 van Eijk 说，Loopstra 想要更多。“他鼓吹了 3D 处理决策，并说‘如若事实解说咱们不需要它，咱们不错随时将其锁定在旋转中。’”锁定旋转的实验太难了，从未完成，但 3D 版块当今对 ASML 来说是不行或缺的。EUV 机器以机电一体化为基础，Erik 也为此作念出了开阔孝敬。”
Loopstra 也驱散赞成平面引擎的引入。在这里，前驱原则的取舍再次显得不那么彰着。Van Eijk：“在履历了一些阻力之后，ASML 才给与并得胜履行了这一观点。”
赢得尊重
为了匡助蔡司（有些东说念主致使在“匡助”一词上加了引号）竣事高数值孔径 EUV 系统的创新，Loopstra 向德国东说念主面对。领先，他在 ASML 职责，负责照亮掩模版的光学元件和将光罩投射到晶圆上的光学元件。转投蔡司后，他参与了奥伯科亨制造经过中测量和松弛高数值孔径镜子的大型系统。
2018 年，Loopstra 长期移居德国，为蔡司提供了复杂机电收尾系统方面的学问提升。由于他兴致正常，而且大致快速掌捏光学等学科，因此这一举动“在咱们最近向高数值孔径机器创新的布景下特等当然”，Martin van den Brink 说。
在蔡司，Loopstra 匡助开发了 ASML 联结伴伴所需的 EUV 和高 NA 光学器件的测量本领。“纠合仿真，这让咱们在最近几个月创下了好意思满的光刻记载：7 纳米线，定位精度为 0.5 纳米，”Van den Brink 指出。“Erik 在往时几年也为这一豪举作念出了孝敬。嗅觉他还在 ASML 职责，尽管他在蔡司职责。”
鲜为东说念主知的是 Loopstra 在收购好意思国光刻公司 ASML 后的头十年中积极参与了 SVG Wilton 并入 ASML 的经过。在此经过中，他匡助 Wilton 的智商提升到了现时的水平：全面负责机器的尖端，包括光罩台。在圣地亚哥的 Cymer，Loopstra 参与了访佛的开发。Van den Brink：“Erik 不费吹灰之力地赢得了 Wilton、圣地亚哥和 Oberkochen 等新集团的尊重，充分诠释了他无可争议的品性；他的推理往往特等令东说念主敬佩。”
特殊搀和
在奥伯科亨与 Loopstra 有过近距离搏斗的荷兰同事暗示，他和 ASML 职工团队在公司激发了一场组织地震。“他是大致冲破蔡司品级森严的壁垒并取得进展的特出东说念主物，”一位目睹者说说念。“这是一种文化冲击。他们不以为这种牛仔文化在公司是可能的，即使他们与 ASML 打了 30 年交说念亦然如斯。他们严肃隆重，不瞎掰八说念，只管去作念。”
德国东说念主暗示，他们的履历略有不同。当蔡司的机电一体化团队得知埃里克·卢普斯特拉将与其他来私费尔德霍芬的工程师一齐赶赴奥伯科亨，给与“一家公司的循序”，并在蔡司-ASML 搀和团队中联结“为最终客户提供最克己理决策”时，德国工程师领先挂念会被荷兰东说念主收购。这些担忧很快就祛除了。“埃里克赢得蔡司团队信任的速率果真太快了，”一位参与其中的工程师说。“恰是他特有的诱导力、幽默感和诚实，让他劝服了咱们，这种‘一家公司的循序’如实是一种很好的职责阵势。他只花了不到两周的时期。”
据这位蔡司职工说，Loopstra 给团队带来了活力。在商议可互换镜子时，德国工程师自可是然地将要点放在了风险和问题上。在屡次令东说念主悔过的对于可互换镜子是否可行的会议之后，“可互换”一词被赋予了负面含义。“Erik 在与 Martin van den Brink 的 ASML-Zeiss 接口会议上解释了他的观点，但他称其不是‘可互换’，而是‘咔哒咔哒’镜子，以叙述更换镜子的速率有多快。从其时起，很彰着，咱们将开发可特等特等快速互换的镜子模块，”这位工程师回忆说念。“Erik 将这个主题从职守酿成了一个你不错从中获取乐趣的挑战。”
Loopstra 还援用了他在德国的璀璨性言论。为了在商议中以灵通的心态处理问题，他使用了“一切齐有可能，但你可能不心爱着力”这句话，道理是“对新目标持灵通立场，筹商着力，但不要让它们困扰你”。他的团队特等观赏这极少，他们有一件印有这句话的 T 恤。据其中一位知情东说念主士显示，Loopstra 团队成员第一次穿上这件玄色 T 恤是在一次界面会议上。“我嗅觉不休层中的一些东说念主正在挠头，怀疑咱们是不是走得太快了。”
教师
蔡司公司早就意志到，公司需要更多具备本领诱导智商的工程师来开发复杂的机电一体化系统。据公司里面东说念主士显示，Loopstra 看到了培养年青系统工程师的契机，并收拢了这一契机。蔡司公司的不休层理会到他是别称优秀的教师。不论他在那处职责，年青工程师都会得到教训。
“他们意志到与埃里克同事是一件特等欣慰的事情，”一位切躯壳验过此事的本领司理说说念。“与他同事的东说念主很快发现，四肢别称工程师，单纯的本领智商并不及以给东说念主留住深入印象。你还必须诚实，而且是一个长期不会健忘缱绻的团队联结者。蔡司引入了积极的响应系统，当今有更多工程师的念念维阵势和步履阵势都归功于埃里克的教导。”
在他逝世前几周，Loopstra 曾向 Van Eijk 自满过这件事，而 Van Eijk 曾是他的学生导师，他曾说他“不太会教导别东说念主”。“Erik 告诉我他在蔡司公司担任有抱负的本领东说念主员的教师，这让我很诧异。往时，他更有力头，莫得耐烦去教导别东说念主的学习经过。”
活力
早在 2000 年，Loopstra 就因其特出的本领孝敬而获取招供。他被任命为首批两名 ASML 研究员之一。不到十年后，他成为该公司的首位高档研究员。2012 年，他获取了荷兰精密工程学会 (DSPE) 颁发的 Martin van den Brink 系统架构师奖。这是 DSPE 初度颁发该奖项，该行为险些完全献给同名东说念主物。Loopstra 本东说念主并不注重。他不是一个心爱出锋头的东说念主。2018 年，蔡司还在他入职后不久任命他为研究员，以犒赏他的始创性确立。
从个东说念主角度来说，Loopstra 与巴登-符腾堡州结下了不明之缘。他和太太心爱这里的表象，于是在“荒郊田园”的场地买了一座有 400 年历史的破旧农舍，里面有一个破旧的谷仓，距离奥伯科亨东部有半小时车程。这个个东说念主技俩很快在蔡司的同事中广为东说念主知。“他和太太运转重建丑陋的谷仓，并参加了大批元气心灵进行翻修，”一位同事说。“看到他们两个的确立果真太棒了。Erik 为蔡司付出了 100% 以上的致力于，在业余时期，他仍然有元气心灵雠校那栋老屋子。他有这样多的元气心灵果真令东说念主难以置信。”
https://bits-chips.nl/article/erik-loopstra-1957-2024-unrelenting-motor-of-asmls-machine-development/
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